隨著半導體集成電路生產規(guī)模擴大和技術升級,，噴涂廢氣處理設備其在各行業(yè)發(fā)揮著越來越重要的作用,。近幾年，半導體工業(yè)迅猛發(fā)展,，合資,、獨資建成投產十幾條生產線。由于在集成電路生產過程要求在高潔凈度廠房進行,，但生產工藝中需要使用有機和無機化學藥品,，所以，通風排氣對于生產十分重要,。我國半導體工業(yè)起步較晚,，所以相應的廢氣凈化技術比較落后,，一般在引進生產線的同時引進廢氣凈化設施，投資及運行成本很高,，如何消化吸收國外先進的廢氣凈化工藝,，選擇合適的工藝保證穩(wěn)定生產和達標，對于新建和改擴建廢氣處理系統(tǒng)非常重要,。
汽車涂裝是油漆消耗的大戶,，由于成本和技術的-，我國汽車涂裝大部分使用電泳底漆+有機溶劑型漆,。VOC有機廢氣處理以生產一輛小型轎車為例,，消耗陰極電泳底漆10kg以上，有機溶劑型油漆(中涂,、面漆,、罩光漆等)5kg以上，商用車如卡車,、客車等用量更大,。電泳底漆烘干過程中產生大量具有刺激性惡臭氣味的油煙、有機溶劑型油漆噴漆及烘干過程中揮發(fā)的溶劑均為有機成分,。在汽車涂裝過程中,，除少量漆膜(占油漆總重量的40%以下)附著在車身表面外，其它有機成分均揮發(fā)于空氣中形成有機廢氣,。以年產800萬輛汽車,，車均用漆15kg，固化后成分占噴漆總量40%計算,，每年有機成分排放量為7.2萬t,，汽車涂裝有掃L廢氣的排放己經成為一個突出的環(huán)境問題。
噴涂廢氣處理設備有機廢氣對環(huán)境的危害甚大,。人如果長期吸入低濃度的有機廢氣會引發(fā)咳嗽,、胸悶、氣喘甚至肺氣腫等慢性呼吸道疾病,，油漆溶劑中的甲醛,、苯類化合物等成分是目前公認的強烈致癌物。除此之外,，有機廢氣對光化學煙霧,、酸雨的形成起著非常重要的作用。由于有機廢氣的危害性,，我國對有機廢氣的排放一直有著嚴格的控制,，現(xiàn)行標準為1997年1月1日實施的GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標準》(以下簡稱《標準》)。
UV光氧催化設備一般是通過將有機廢氣中的有機成分和空氣中的氧氣反應發(fā)生分解，一些低毒的化合物(如鹵代烴和氧氣反應后可以產后鹵酸),。常溫下廢氣中的有機成分和氧氣小反應,，在廢氣處理設備的高溫、催化等條件下,，廢氣中的有機成分發(fā)生分解從而使廢氣得到凈化,。
半導體生產可分為擴散工序和組裝兩大工序也稱前工序和后工序。UV光氧催化設備在前工序的有機剝離,、涂布,、光刻等工藝環(huán)節(jié)產生大量的有機廢氣，為了使污染物達到國家排放標準,，一期工程引進了日本生產的兩臺有機廢氣處理塔及配套的廢液焚燒爐,，使用過程中發(fā)現(xiàn)設備運行成本高。在擴建工程中,，經過對各種有機廢氣處理方法及設備工作的原理分析,，動力消耗、處理成本比較,，選擇了北京中航銀燕環(huán)保技術發(fā)展中心制造的固定床式活性炭有機廢氣處理塔，節(jié)省投資160萬元人民幣,，一年的使用和廢氣排放監(jiān)測證明,，VOC有機廢氣處理設備運行穩(wěn)定，處理效果達到國家排放標準,，并且節(jié)約了運行費用30萬元,，經濟效益顯著，同時為今后擴建廢氣處理工程積累了寶貴經驗,。
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