導(dǎo)電薄膜的導(dǎo)電原理是在原本導(dǎo)電能力很弱的本征半導(dǎo)體中摻入微量的-元素,，就會使半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能發(fā)生顯著變化,。這些微量元素被稱為雜質(zhì),，摻雜后的半導(dǎo)體稱為雜質(zhì)半導(dǎo)體,。氧化銦錫（ITO）透明導(dǎo)電玻璃就是將錫元素?fù)饺氲窖趸熤?，提高?dǎo)電率,，它的性能（主要包括電導(dǎo)率,、可見光透過率）在目前是的,，也被廣泛用于我們?nèi)粘Ｊ褂玫母黝惼桨屣@示器的制作,。ITO薄膜有復(fù)雜的立方鐵錳礦結(jié)構(gòu)，最低電阻率達10 -5 Ω . cm量級,，可見光譜范圍內(nèi)平均光透射率90%以上,。但是，由于銦為稀散元素,，在自然界中貯存量少,，價格較高，而且ITO應(yīng)用于太陽能電池中時在等離子體中不夠穩(wěn)定,，-種類的透明導(dǎo)電氧化物的研究也就成為了一個研究熱點,。這方面氧化鋅基薄膜的研究進展迅速，材料性能已可與ITO相比擬,，結(jié)構(gòu)為六方纖鋅礦型,。其中鋁摻雜的氧化鋅（AZO）薄膜研究較為廣泛，它的突出優(yōu)勢是原料易得,，制造成本低廉,，無毒，易于實現(xiàn)摻雜,，且在等離子體中穩(wěn)定性好,，因而有可能成為ITO的替代產(chǎn)品，尤其是在太陽能電池透明電極領(lǐng)域,。另外,，多元復(fù)合氧化物如鈣鈦礦相的BaSnO 3 , SrSnO 3也是TCO薄膜的一個研究方向。
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