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深冷泵 polycold 維修與保養(yǎng) |
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水汽捕集泵(Water Vapor Cryochiller), 主要用于輔助抽真空以及改善真空質(zhì)量, 在真空度 1 至 10-6 Pa 之間捕集真空腔內(nèi)水汽和油分子, 提升產(chǎn)品的產(chǎn)能和成膜質(zhì)量..
原理
在真空腔體內(nèi),水氣分子是最典型的環(huán)境污染氣體,占腔內(nèi)殘余氣體 65% 到 95% ,當(dāng)真空度達(dá)到 10-2Pa時,水汽分子用平常真空泵難排出腔體,為了快速的達(dá)到較高的真空度,水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔內(nèi)的水汽,輔助抽真空,極短的時間達(dá)到 需求的真空度.
應(yīng)用
工廠大批量鍍膜
實驗及科研院所-鍍膜
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