隨著精密工程和微細(xì)工程的迅速發(fā)展, 亞μm 和nm 級(jí)定位技術(shù)和微動(dòng)伺服技術(shù)已成為微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),、超精密加工、微電子,、光電子和生物工程等前沿學(xué)科的關(guān)鍵技術(shù).

       壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)作為理想的nm 微位移元件, 具有體積小,、位移分辨率高、頻響高,、承載力大,、無(wú)噪聲、不發(fā)熱等特點(diǎn), 得到了廣泛應(yīng)用.但是由于壓電陶瓷的遲滯,、蠕變等效應(yīng), 給壓電陶瓷的控制帶來(lái)了困難.而驅(qū)動(dòng)放大器則是引起遲滯和蠕變現(xiàn)象最主要的原因之一.因此,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)放大器已成為目前壓電陶瓷致動(dòng)器應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)之一.

    壓電陶瓷致動(dòng)器一般為堆疊結(jié)構(gòu).在外電場(chǎng)的作用下,每個(gè)壓電陶瓷片相當(dāng)于1個(gè)平行板電容器.因此,驅(qū)動(dòng)放大器的負(fù)載壓電陶瓷致動(dòng)器為容性負(fù)載,其電容量通常達(dá)幾μF.當(dāng)存在外加電場(chǎng)時(shí),根據(jù)逆壓電效應(yīng), 壓電陶瓷片產(chǎn)生垂直方向和水平方向的變形, 輸出位移.在已知壓電陶瓷致動(dòng)器模型的前提下, 通過(guò)一定的控制方法和控制算法, 能夠使壓電致動(dòng)器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)得到較大提高.

     ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-2MHz的帶寬,170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍,40mA~500mA的電流輸出能力,是精密位移系統(tǒng)中壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)研發(fā)測(cè)試的理想選擇. 

ATA-2000系列高壓放大器,可以輸出理想的單端及差分信號(hào),為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具.同時(shí)該系列功率放大器,設(shè)計(jì)了良好的過(guò)壓,過(guò)流,短路保護(hù)裝置,同時(shí)為了更好的為MEMS測(cè)試客戶應(yīng)用,提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),方便用戶選擇對(duì)應(yīng)匹配阻抗.

ATA-2000系列高壓放大器的增益數(shù)控可調(diào),通過(guò)的步進(jìn)對(duì)于信號(hào)進(jìn)行精準(zhǔn)放大,方便用戶調(diào)試.同時(shí)具有100:1的信號(hào)監(jiān)控口,方便用戶實(shí)時(shí)觀測(cè)輸出波形的變化.采用液晶顯示,操作簡(jiǎn)單易懂.